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高精度直線模組（絲杠/直驅），多軸運動平臺（大理石/鑄鐵）、EL檢測Z軸組件、雙面IV-UVW平臺、夾板塊、220傳送組、片庫/版庫(Lordport)、晶圓預對準模塊（Pre-Alignment）、晶圓搬運機械手（Wafer Handling Robot）等設備。