直線電機驅動的多軸運動平臺，X軸驅動采用直線電機加高分辨率編碼器，高精度等級的線性導軌，采用精度和耐用穩定性并存的大理石平臺作為底座。行程600mm，重復定位精度1um，補償后定位精度2um以內，直線度全行程10um以內。Y軸驅動方式與X軸相同，行程260mm，重復定位精度1um，補償后定位精度2um以內，直線度全行程5um。Z軸采用伺服電機加高分辨率光柵編碼器的全閉環控制方案，通過特殊的內部傳動結構使電機外置，保證精度的同時也減小了整體的空間，Z軸行程16mm，重復定位精度3um，補償后定位精度5um以內。旋轉軸可連續360°，重復定位精度±2arcsec，定位精度±15arcsec。整體運行平面度±25um，XY軸正交7.5arcsec。此平臺可應用于半導體等對精度有一定要求的行業。