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定制產(chǎn)品

半導(dǎo)體行業(yè)自制設(shè)備

片庫

CATEGROIES

產(chǎn)品分類

產(chǎn)品分類 



瀏覽量:

1000

片庫

尺寸：332*356*765
特征要點(diǎn)：
·支持4inch/5inch/6inch/8inch/12inch Cassette
·Cassette加載檢測
·整體潔凈度等級優(yōu)于ISO Class4
·Mapping姿態(tài)檢測最小支持300μm厚度
·晶圓交接重復(fù)性精度≤7μm
·運(yùn)行速度最大150mm/s
·停電或緊急停止安全原位保持
·維護(hù)MTTR≤30分鐘
·支持SEMI標(biāo)準(zhǔn)

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資質(zhì)榮譽(yù) 生產(chǎn)實(shí)力

產(chǎn)品描述

參數(shù)

加載、處理和傳輸晶圓的專用設(shè)備，是晶圓傳輸?shù)闹匾藱C(jī)接口。

特征要點(diǎn)：

·支持4inch/5inch/6inch/8inch/12inch Cassette

·Cassette加載檢測

·整體潔凈度等級優(yōu)于ISO Class4

·Mapping姿態(tài)檢測最小支持300μm厚度

·晶圓交接重復(fù)性精度≤7μm

·運(yùn)行速度最大150mm/s

·停電或緊急停止安全原位保持

·維護(hù)MTTR≤30分鐘

·支持SEMI標(biāo)準(zhǔn)

未找到相應(yīng)參數(shù)組，請于后臺屬性模板中添加

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XY精密滑臺

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版庫

 全封閉直線電機(jī)模組

行程（可定制）800mm的直線電機(jī)全封閉模組。采用獨(dú)特的密封方案，與傳統(tǒng)的上部鋼帶密封模組相比，上部可以安裝堅(jiān)固的蓋板，使其可以更方便與高壽命的應(yīng)用在激光加工領(lǐng)域或者半導(dǎo)體行業(yè)，內(nèi)部采用了高分辨的編碼器和無鐵芯的直線電機(jī)，使運(yùn)動可以更佳的順滑和平穩(wěn)，高精度等級的線性導(dǎo)軌使其機(jī)械運(yùn)動的參數(shù)也極為優(yōu)異。整體的運(yùn)動過程中重復(fù)定位精度1um，補(bǔ)償后定位精度可控制在2um以內(nèi)，整體運(yùn)行直線度5um以內(nèi)。

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 多軸運(yùn)動平臺

直線電機(jī)驅(qū)動的多軸運(yùn)動平臺，X軸驅(qū)動采用直線電機(jī)加高分辨率編碼器，高精度等級的線性導(dǎo)軌，采用精度和耐用穩(wěn)定性并存的大理石平臺作為底座。行程600mm，重復(fù)定位精度1um，補(bǔ)償后定位精度2um以內(nèi)，直線度全行程10um以內(nèi)。Y軸驅(qū)動方式與X軸相同，行程260mm，重復(fù)定位精度1um，補(bǔ)償后定位精度2um以內(nèi)，直線度全行程5um。Z軸采用伺服電機(jī)加高分辨率光柵編碼器的全閉環(huán)控制方案，通過特殊的內(nèi)部傳動結(jié)構(gòu)使電機(jī)外置，保證精度的同時(shí)也減小了整體的空間，Z軸行程16mm，重復(fù)定位精度3um，補(bǔ)償后定位精度5um以內(nèi)。旋轉(zhuǎn)軸可連續(xù)360°，重復(fù)定位精度±2arcsec，定位精度±15arcsec。整體運(yùn)行平面度±25um，XY軸正交7.5arcsec。此平臺可應(yīng)用于半導(dǎo)體等對精度有一定要求的行業(yè)。

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 XY精密滑臺

Awooe-XY精密滑臺是一個集成XY線性電機(jī)位移臺，旨在消除單個X級和Y級的集成，并提高系統(tǒng)的動態(tài)應(yīng)用剛度。它的特點(diǎn)是行程范圍為 100mm，X軸和Y軸之間具有精確的正交對準(zhǔn)，是精密工業(yè)應(yīng)用的理想解決方案，X/Y重復(fù)定位±0.5μm、定位精度（含補(bǔ)償）±0.5μm、直線度3μm、最大速度 X/Y:150mm/s

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 雙面IV-UVW平臺

尺寸：840*410*500
UVW-Z軸平臺主要用于雙面電池片的IV檢測，該UVW平臺采用超薄型，輕量化設(shè)計(jì)，利用特殊的交叉滾柱導(dǎo)軌施加預(yù)壓，達(dá)到高剛性，高精度，反復(fù)定位精度可達(dá)±5μm。Z軸探針排可以根據(jù)現(xiàn)場情況進(jìn)行調(diào)節(jié)以滿足不同柵距要求。

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